等離子清洗機(jī)使用多種工藝氣體。表面清潔和活化通常采用氧、氫、氮和壓縮空氣，但根據(jù)不同的工藝要求也可使用氬氣。

  那么為什么要使用這種氣體，它在等離子體清潔器中的主要功能是什么。今天就和大家分享氬在真空等離子清洗機(jī)中的應(yīng)用知識(shí)，供大家參考。

  一、概述

  Ar簡稱為Ar，英文名為Ar，化學(xué)式為Ar。這是一種無色無味的惰性氣體。它通過高壓氣瓶運(yùn)輸和儲(chǔ)存.主要用于工業(yè)中的金屬電弧焊和切割保護(hù)。

  氬氣是一種惰性氣體。電離后產(chǎn)生的離子不會(huì)與基底發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。在等離子清洗中，主要用于基體表面的物理清洗和表面粗糙化。最大的特點(diǎn)是用于表面清洗。不會(huì)造成精密電子器件的表面氧化。正因?yàn)槿绱?，氬等離子清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、晶圓制造等行業(yè)。

  二、輝光放電顏色

  真空等離子體清潔器中氬氣電離產(chǎn)生的等離子體是暗紅色的。在相同的放電環(huán)境下，氫氣和氮?dú)猱a(chǎn)生的等離子體顏色都是紅色的，但氬等離子體的亮度低于氮?dú)?，高于氫氣，這是比較容易區(qū)分的。

  三、應(yīng)用介紹

  1.表面清洗

  在硅片、玻璃等產(chǎn)品的表面除顆粒過程中，通常采用氬等離子體轟擊表面顆粒，以達(dá)到顆粒破碎和松動(dòng)的效果。(與基體表面分離)，然后結(jié)合超聲波清洗或離心清洗等工藝去除表面的顆粒。特別是在半導(dǎo)體封裝工藝中，為了防止引線鍵合工藝完成后的氧化，采用氬等離子體或氬氫等離子體進(jìn)行表面清洗。

  2.表面粗糙化

  等離子清洗機(jī)的表面粗糙化也稱為表面蝕刻。其目的是增加材料表面的粗糙度，以增加粘接、印刷、焊接等工藝的結(jié)合力。氬等離子清洗機(jī)處理后的表面張力將得到明顯改善?；钚詺怏w產(chǎn)生的等離子體也可以增加表面的粗糙度，但氬氣電離產(chǎn)生的顆粒相對較重，而氬離子在電場作用下的動(dòng)能會(huì)明顯高于活性氣體，因此粗化效果會(huì)更強(qiáng)。顯然，它在無機(jī)基材的表面粗糙化工藝中應(yīng)用最為廣泛。如玻璃基板表面處理、金屬基板表面處理等。

  3.由活性氣體輔助

  在等離子體清洗器的活化和清洗過程中，工藝氣體常常被混合，以獲得更好的效果。

  由于氬的分子比較大，電離后產(chǎn)生的顆粒比較大，在清潔和活化表面時(shí)通常與活性氣體混合。最常見的是氬和氧的混合物。

  氧是一種高活性氣體，能有效地分解有機(jī)污染物或有機(jī)底物表面，但其顆粒相對較小，斷鍵和轟擊的能力有限。如果加入一定比例的氬氣，所產(chǎn)生的等離子體將對有機(jī)污染物或有機(jī)基板表面具有更強(qiáng)的斷鍵和分解能力，清洗和活化效率將加快。

  氬和氫的混合物用于引線鍵合和鍵合工藝。除了增加焊盤粗糙度外，還能有效去除焊盤表面的有機(jī)污染物，同時(shí)減少表面的輕微氧化。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體封裝、SMT等行業(yè)領(lǐng)域中廣泛應(yīng)用。