包括真空泵、真空計(jì)等部件。真空泵用于將反應(yīng)腔室抽成真空，常見的真空泵有機(jī)械真空泵、擴(kuò)散真空泵等。真空計(jì)則用于測量腔室內(nèi)的真空度，以便精確控制真空環(huán)境，確保等離子體的產(chǎn)生和清洗效果。

主要由射頻發(fā)生器或微波發(fā)生器等能源供應(yīng)裝置組成。射頻發(fā)生器通過射頻電場激發(fā)氣體分子，使其電離產(chǎn)生等離子體。不同的功率和頻率設(shè)置可以產(chǎn)生不同特性的等離子體，以適應(yīng)不同的清洗任務(wù)。

包括氣體源、氣體流量控制器等。氣體源提供清洗所需的各種氣體，如氬氣用于物理清洗，氧氣用于氧化有機(jī)污染物等。氣體流量控制器可以精確控制進(jìn)入反應(yīng)腔室的氣體流量，從而調(diào)節(jié)等離子體的成分和密度。

是放置被清洗物體的空間，其材質(zhì)和結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)需要考慮到真空密封性、耐腐蝕性和對等離子體的適應(yīng)性。通常采用不銹鋼等材料制成，內(nèi)部設(shè)計(jì)有合適的電極和樣品架，以保證等離子體均勻分布在被清洗物體表面。