射頻電源及匹配器

全固態(tài)射頻電源，采用目前技術(shù)穩(wěn)定可靠的功放和直流模塊，從而使產(chǎn)品提供極其穩(wěn)定的射頻功率輸出，產(chǎn)品更堅固耐用。元器件質(zhì)量高而數(shù)量少，使產(chǎn)品的可靠性和設(shè)備生命周期最大化。同時提供多種型號選擇，每種型號具有特定的功能組合和性能（2,4,13.56,27.12,40.68MHz,0.1-3KW,具有各種用戶界面）。LCD顯示屏既全面又直觀的操作菜單，可在電源控制面板上直接使用，提供獨一無二的易操作性，提高操作者效率，最小化培訓(xùn)成本。

射頻電源

優(yōu)勢	功能
● 更長的制程正常運行時間 ● 更高的操作簡易性和靈活性 ● 穩(wěn)定可靠的功放和直流模塊方案 ● 長期的使用簡易性，節(jié)省成本 ● 完善的售后服務(wù)和支持	● 高效率——低發(fā)熱量 ● 通信：15針和25針兩個模擬用戶端口選擇，RS- 232/485 ● 多功能前面板 ● 便利、全面的操作菜單 ● CEX（相位同步）操作模式 ● 完善的反射功率保護(hù)

自動匹配器

優(yōu)勢	功能
● 提高生產(chǎn)力、增加產(chǎn)量、降低生產(chǎn)成本 ● 長期穩(wěn)定的制程時間保證 ● 易于安裝和操作	● 快速、精確和可重復(fù)的阻抗匹配 ● 最佳的、可直接應(yīng)用的功能，滿足多種應(yīng)用領(lǐng)域需求 ● 多功率和頻率范圍